No/VOL: 01/2022 Page no. 169
Authors: Janusz Woźny , Andrzej Kubiak :
Title: Badanie własności grubowarstwowego kontaktu srebro-węglik krzemu modyfikowanego wiązką laserową
Abstract: W pracy zaprezentowana jest metoda uzyskiwania kontaktów omowych do węglika krzemu z wykorzystaniem srebrowego kleju przewodzącego oraz lasera modyfikującego obszar kontaktu. Metoda nie wymaga przeprowadzania procesu wygrzewania całej struktury. Może ona znaleźć zastosowanie w pracach laboratoryjnych nad SiC wymagających szybkiego wytworzenia kontaktów omowych do struktur z SiC.
Key words: SiC, kontakt omowy, laser