No/VOL: 02/2022 Page no. 98
Authors: Mateusz Zapart , Cezary Worek :
Title: Projekt i symulacje zasilacza średniej mocy i średniej częstotliwości przeznaczonego do procesów plazmowych i rozpylania magnetronowego
Abstract: W artykule przedstawiono, przetwornicę z obwodem rezonansowym 4 rzędu typu LCLC, pracującą na częstotliwościach około 100 kHz przeznaczoną do zasilana magnetronu. Ta nietypowa topologia charakteryzuje się wyjściem o charakterze źródła prądowego z możliwością osiągnięcia wysokiego napięcia bez obciążenia, co jest zaletą w przypadku zasilania procesów plazmowych. Wiąże się również z mniejszymi wymaganiami dotyczącymi szybkości kontrolera, co pozwala na realizację cyfrowych pętli sprzężenia z wykorzystaniem mikrokontrolerów DSC.
Key words: przetwornica rezonansowa LCLC, klasa DE, symulator NGSPICE, rozpylanie magnetronowe.