No/VOL: 09/2022 Page no. 239
Authors: S. Iwanek , Jerzy Sanetra , Konstanty Marszałek , Zbigniew Kąkol :
Title: Optyczna metoda badania jednorodności cienkowarstwowych elektrod do ogniw fotowoltaicznych
Abstract: Przedstawiono nową, nieniszczącą, optyczną metodę badania jednorodności ogniw fotowoltaicznych. Jednorodność grubości i stałych optycznych osadzonych elektrod o dużej powierzchni (15,6*15,6 cm*cm) zmierzono metodą elipsometrii spektroskopowej. Zaprojektowano i uruchomiono urządzenie do napylania jonowego elektrod metalicznych (Al, Mo). Do osadzania elektrod przezroczystych (ZnO:Al) zastosowano urządzenie ALD. Przedstawiono opis systemów do napylania próżniowego oraz wyniki badań.
Key words: fotowoltaika.