No/VOL: 09/2022 Page no. 247
Authors: Szymon Kiełczawa , Artur Wiatrowski :
Title: Specyficzna metoda osadzania cienkich warstw tlenku cynku domieszkowanego glinem na elastycznych podłożach szklanych.
Abstract: W artykule przedstawiono specyficzną metodę sterowania procesem rozpylania magnetronowego za pomocą parametru nazwanego przez producenta zasilacza “mocą krążącą”, który użyto do określenia modu rozpylania (metaliczny, przejściowy, dielektryczny). Na podstawie charakterystyk mocy krążącej cienkie warstwy AZO zostały naniesione na konwencjonalne oraz giętkie podłoża szklane. Warstwy te posiadały dużą transmisją światła (powyżej 80% w zakresie widzialnym światła) oraz niską rezystywnością (na poziomie 10-3 Ω∙cm).
Key words: rozpylanie magnetronowe, rozpylanie reaktywne, transparentna elektronika, powłoki elastyczne