No/VOL: 11b/2012 Page no. 272
Authors: Izabela Augustyniak , Paweł Knapkiewicz , Jan Dziuban :
Title: Modelowanie krzemowo-szklanej struktury czujnika MEMS do wykrywania dawki promieniowania wysokoenergetycznego
Abstract: W pracy przedstawiono koncepcję miniaturowego, pasywnego, krzemowo-szklanego czujnika wysokich dawek promieniowania wysokoenergetycznego. Cechą szczególną zaproponowanej konstrukcji czujnika pasywnego jest połączenie możliwości pomiaru wysokich dawek promieniowania wysokoenergetycznego z zaletami bezpośredniego odczytu, dotychczas możliwego tylko w dozymetrach elektronicznych. Założono, że czujnik powinien mierzyć dawki promieniowania ≥ 10 kGy. Przedstawiono założenia konstrukcyjne czujnika, wyniki obliczeń oraz modelowania numerycznego.
Key words: czujnik MEMS, promieniowanie wysokoenergetyczne, modelowanie membrany krzemowej, pomiar dozy promieniowania