No/VOL: 02/2022 Page no. 144
Authors: Jacek Boguski , Jakub Józwowicz , Małgorzata Nyga , Sebastian Złotnik , Jarosław Wróbel :
Title: Badanie wpływu wybranych parametrów cyklicznego procesu mokrego trawienia chemicznego epitaksjalnych warstw InAs
Abstract: W niniejszym artykule poświęcono uwagę procesowi mokrego trawienia chemicznego warstw epitaksjalnych InAs. Do procesu wprowadzono modyfikację, polegającą na wykonaniu trawienia w sposób cykliczny, przy założonych całkowitych czasach procesu. Zbadano wpływ ilości cykli w procesie mokrego trawienia chemicznego na głębokość trawienia oraz chropowatość strawionej warstwy.
Key words: mokre trawienie chemiczne, głębokość trawienia, chropowatość, warstwa epitaksjalna InAs.